Vliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku


Dnes vráceno


Items Bound volumes
Loading items
Document is currently in processing No free items Document has no bound volumes
Reference
Related
All parts
Contents
{{record.tocContent}}
Detail
MARC
Field Ind Field content
leader -----ntm-a22------a-4500
1 kpw06479748
5 20221026060555.9
7 ta
8 150109s2014----xr |||||||||||||||||cze||
40 ## $a LID001 $b cze $e AACR2
41 0# $a cze
44 ## $a xr
72 #7 $a 539 $x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika $2 Konspekt $9 6
100 1# $a Cícha, Ivan $4 aut
245 10 $a Vliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku = $b Effect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbon / $c Ivan Cícha ; vedoucí práce Petr Louda
246 3# $a Effect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbon
260 ## $a Liberec : $b Technická univerzita v Liberci, $c 2014
300 ## $a 63 s. : $b obr., tab., grafy + $e CD ROM
340 ## $a application/pdf
502 ## $b Bc. $g Bakalářský $d 2014-06-17
520 ## $a Tato bakalářská práce vznikla za účelem zjistit, jaké depoziční podmínky mají nejpříznivější vliv na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku. Práce se zabývá studiem DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientem karbidu uhlíku. Tato práce je rozdělena na dvě hlavní části. V první části se zabývám teoretickými principy nanášení tenkých vrstev a obecnou charakteristikou tenké vrstvy. Poté jsem se zaměřil na charakteristiku samotného uhlíku a jeho alotropických modifikací. Blíže jsem se zabýval charakteristikou DLC (diamond like carbon - diamant podobný uhlíku) tenkých vrstev. V tom jsou zahrnuty jejich vlastnosti, druhy a jejich praktické aplikace. Na konec této části jsem uvedl i základní teoretické principy předdepozičních příprav vzorku.; Druhá část práce pojednává o samotném experimentu a popisu experimentálního zařízení. Je zde také uveden popis přípravy vzorků a jejich stručná charakteristika. Má práce byla rozdělená na dvě fáze. V té první se na křemíkové destičky nanášel jen samotný titan, a to z důvodu, aby se zjistila jeho depoziční rychlost při různém předpětí. V té druhé fázi se už přešlo k depozici DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientu karbidu titanu. V tomto případě se již deponovalo na ocelové vzorky. Obě fáze se realizovaly RF PACVD/MS metodou. V první řadě se na substrát nanesla mezivrstva titanu a poté gradientní vrstva karbidu uhlíku, a to z důvodu lepší přilnavosti konečné DLC vrstvy. Výsledné vrstvy se poté podrobily zkouškám nanotvrdosti, adheze, tribologie a také se změřila tloušťka. V úplném závěru této části došlo k porovnání jednotlivých vrstev z hlediska jejich vlastností. Poté došlo k zhodnocení a vybrání nejvhodnější vrstvy pro další praktické využití.
540 ## $a Bez omezení
650 #7 $a tenké vrstvy
650 #7 $a uhlík
655 #7 $a bakalářské práce $7 fd132403
656 #7 $a Nanotechnologie/Nanomateriály
690 $a thin films
690 $a carbon
700 1# $a Louda, Petr, $d 1958- $7 xx0148466 $4 thb
710 2# $a Technická univerzita v Liberci. $b Strojní fakulta $7 kn20010709341 $4 dgg
856 4# $u http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296 $s 3 MB $q pdf $z Plný text práce
857 $u http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=1 $s 119 kB $q pdf $z Posudek oponenta
858 $u http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=2 $s 72 kB $q pdf $z Posudek vedoucího práce
859 $u http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=3 $s 433 kB $q pdf $z Obhajoba práce
910 ## $a LID001 $b V 50/14 Mb
1111 $a BAK
1200 $a 28296
1639 $a KMT
Loan history
{{$parent.item.lendDate | jpDate:'d.M.yyyy'}}
{{$parent.item.endDate | jpDate:'d.M.yyyy'}}
{{$parent.item.state | loc}} by user {{$parent.item.user | loc}}
Item {{$parent.item.exemplar | loc}}
Dept {{$parent.item.department | loc}}
Processing history
Předchozí verze
  • {{revision.date | jpDate:'d.M.yyyy HH:mm'}}
    Aplikovat
    {{revision.content}}
Try to re-lookup for cover Delete cover